Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Show other versions (1)
Bibliographic Details
Main Author: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Other Authors: Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск [Б. и.] 2018
Subjects:
Тонкопленочные покрытия
металлические покрытия
осаждение в плазме
плазма
магнетронные распылительные системы
экспериментальные ионно-плазменные установки
магнетронные диоды
металлические мишени
хром
хромовые покрытия
никель
никелевые покрытия
структурные свойства
функциональные свойства
диссертации
труды учёных ТПУ
Online Access:Перейти в каталог НТБ ТПУ
Description
Item Description:Защищена 05.12.2018 г.
Physical Description:138 л. ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 125-138 (131 назв.)
Словарь терминов: с. 123

Similar Items