|
|
|
|
| LEADER |
02320nam a2200409 4500 |
| 001 |
libtpu00342137 |
| 008 |
181213s2018 ru a d 0001 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook370723
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 040 |
|
|
|a RU
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.1:539.216.2(04)
|
| 084 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 100 |
1 |
|
|a Сиделёв, Д. В.
|c физик
|c инженер кафедры Томского политехнического университета
|d 1991-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью
|b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|b спец. 01.04.07
|c Д. В. Сиделёв
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|b [Б. и.]
|c 2018
|
| 300 |
|
|
|a 22 с.
|b ил.
|
| 500 |
|
|
|a Защита сост. 05.12.2018 г.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 22 (10 назв.)
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Тонкопленочные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a металлические покрытия
|
| 653 |
|
|
|a осаждение в плазме
|
| 653 |
|
|
|a плазма
|
| 653 |
|
|
|a осаждение в плазме
|
| 653 |
|
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 653 |
|
|
|a экспериментальные ионно-плазменные установки
|
| 653 |
|
|
|a магнетронные диоды
|
| 653 |
|
|
|a металлические мишени
|
| 653 |
|
|
|a хром
|
| 653 |
|
|
|a хромовые покрытия
|
| 653 |
|
|
|a никель
|
| 653 |
|
|
|a никелевые покрытия
|
| 653 |
|
|
|a структурные свойства
|
| 653 |
|
|
|a функциональные свойства
|
| 653 |
|
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
1 |
|
|a Кривобоков
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Валерий Павлович
|4 727
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НТБ ТПУ
|u https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342137
|
