Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Библиографическая информация
Главный автор:	Шевелев, А. Э. физик инженер Томского политехнического университета 1990-
Другие авторы:	Рябчиков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск 2019
Предметы:	Ионы > Взаимодействие с поверхностью твердых тел > (физика твердого тела) электронный ресурс труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций формирование высокоинтенсивные пучки ионы металлов низкие энергии плазма вакуумные дуги заряженные частицы ионная имплантация элементный состав приповерхностные слои плазменно-иммерсионное формирование вакуумно-дуговые разряды транспортировка фокусировка вакуумно-дуговая плазма
Online-ссылка:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53316

Похожие документы