Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20

Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author: Шевелев, А. Э. физик инженер Томского политехнического университета 1990-
Other Authors: Рябчиков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2019
Subjects:
Ионы > Взаимодействие с поверхностью твердых тел > (физика твердого тела)
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
авторефераты диссертаций
формирование
высокоинтенсивные пучки
ионы металлов
низкие энергии
плазма
вакуумные дуги
заряженные частицы
ионная имплантация
элементный состав
приповерхностные слои
плазменно-иммерсионное формирование
вакуумно-дуговые разряды
транспортировка
фокусировка
вакуумно-дуговая плазма
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53316

Similar Items

Similar Items