Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Шевелев, А. Э. физик инженер Томского политехнического университета 1990-
Other Authors:	Рябчиков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск 2019
Subjects:	Ионы > Взаимодействие с поверхностью твердых тел > (физика твердого тела) электронный ресурс труды учёных ТПУ диссертации формирование высокоинтенсивные пучки ионы металлов низкие энергии плазма вакуумные дуги заряженные частицы ионная имплантация элементный состав приповерхностные слои плазменно-иммерсионное формирование вакуумно-дуговые разряды транспортировка фокусировка вакуумно-дуговая плазма практическое применение
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53313

Description
Item Description:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 27.06.2019 г.
Physical Description:	1 файл (6 301 КБ)

Similar Items