|
|
|
|
| LEADER |
02768nlm a2200469 4500 |
| 001 |
libtpu00342919 |
| 008 |
190516s2019 ru a 0000 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook372430
|
| 035 |
0 |
0 |
|a RUTPUbook372428
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 539.2:539.1(04)
|
| 084 |
|
|
|a 01.04.20
|2 oksvnk
|
| 100 |
1 |
|
|a Шевелев, А. Э.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|d 1990-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги
|h Электронный ресурс
|b диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
|b спец. 01.04.20
|c А. Э. Шевелев
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|c 2019
|
| 300 |
|
|
|a 1 файл (6 301 КБ)
|
| 500 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 500 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 500 |
|
|
|a Защита сост. 27.06.2019 г.
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Ионы
|x Взаимодействие с поверхностью твердых тел
|z (физика твердого тела)
|
| 653 |
|
|
|a электронный ресурс
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 653 |
|
|
|a диссертации
|
| 653 |
|
|
|a формирование
|
| 653 |
|
|
|a высокоинтенсивные пучки
|
| 653 |
|
|
|a ионы металлов
|
| 653 |
|
|
|a низкие энергии
|
| 653 |
|
|
|a плазма
|
| 653 |
|
|
|a вакуумные дуги
|
| 653 |
|
|
|a заряженные частицы
|
| 653 |
|
|
|a ионная имплантация
|
| 653 |
|
|
|a элементный состав
|
| 653 |
|
|
|a приповерхностные слои
|
| 653 |
|
|
|a плазменно-иммерсионное формирование
|
| 653 |
|
|
|a вакуумно-дуговые разряды
|
| 653 |
|
|
|a транспортировка
|
| 653 |
|
|
|a фокусировка
|
| 653 |
|
|
|a вакуумно-дуговая плазма
|
| 653 |
|
|
|a низкие энергии
|
| 653 |
|
|
|a практическое применение
|
| 700 |
1 |
|
|a Рябчиков
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Александр Ильич
|4 727
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53313
|
