Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Библиографическая информация
Главный автор:	Шевелев, А. Э. физик инженер Томского политехнического университета 1990-
Другие авторы:	Рябчиков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск 2019
Предметы:	Ионы > Взаимодействие с поверхностью твердых тел > (физика твердого тела) электронный ресурс труды учёных ТПУ диссертации формирование высокоинтенсивные пучки ионы металлов низкие энергии плазма вакуумные дуги заряженные частицы ионная имплантация элементный состав приповерхностные слои плазменно-иммерсионное формирование вакуумно-дуговые разряды транспортировка фокусировка вакуумно-дуговая плазма практическое применение
Online-ссылка:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53313

Похожие документы