Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
2020
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63264 |
| Примечание: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г. |
|---|---|
| Объем: | 1 файл (1 898 КБ) |
