Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07 - Сунь Чжилэй, физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1992- (2020)