Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук

Библиографическая информация
Главный автор:	Сунь Чжилэй, физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1992-
Другие авторы:	Пичугин российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск 2020
Предметы:	Пленки тонкие > Получение Пленки тонкие > Структура электронный ресурс труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций закономерности формирование оксинитриды титана магнетронное распыление структурные особенности оксиды титана биомедицинское применение осаждение плазма кристаллические структуры преломление фазовый состав шероховатости отжиг молекулярный состав смачивание спектроскопия термическая обработка фотокаталитическая активность
Online-ссылка:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63264

Похожие документы

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Сунь Чжилэй, физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1992-
Публикация: (2020)

Свойства пленок нитрида титана, полученных методом магнетронного распыления

Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Публикация: (2017)

Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Публикация: (2017)

CeO2–TiO2 mixed oxide thin films with enhanced photocatalytic degradation of organic pollutants
по: Moongraksathum, Benjawan

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Gas sensitivity of IBSD deposited TiO2 thin films

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Публикация: (2017)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Публикация: (2017)

Влияние режимов работы на отклик сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова

Осаждение пленок диоксида титана с помощью дуального магнетрона: оптические и фотокаталитические свойства

Investigation on the microstructure, electrical and gas sensing properties of semiconducting metal oxide thin films deposited by advanced sputtering

Comparison study on the properties of the CaP coatings formed by RF-magnetron sputtering of the Mg- and Sr-substituted ß-tricalcium phosphate and hydroxyapatite

Ammonia sensors based on resistive structures M–SnO2:Sb–M

Термическая стабильность структуры и оптических свойств наноструктурированных пленок TiO2

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Конищев, М. Е. физик старший преподаватель Томского политехнического университета 1987-
Публикация: (2025)

Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
по: Голишников, Александр Анатольевич
Публикация: (2011)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Конищев, М. Е. физик старший преподаватель Томского политехнического университета 1987-
Публикация: (2025)

Влияние режимов ВЧ магнетронного напыления на свойства тонких пленок диоксида олова

Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления

Structural, electrical and gas-sensitive properties of Cr2O3 thin films

Isothermal and CW laser crystallization of amorphous Ge2Sb2Te5 thin films

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./
по: Акуленок, М. В. Марина Викторовна, et al.
Публикация: (2011)

Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления

Properties of gallium oxide films obtained by HF-magnetron sputtering

Свойства пленок TiO2 на кремниевых подложках

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Исмаилов, Д. В.
Публикация: (2018)

Свойства биоактивных тонких пленок на основе системы SiO2-P2O5- СаО, полученых золь-гель методом
по: Лютова, Екатерина Сергеевна

Влияние добавки оксида титана на биосвойства силикатных материалов
по: Борило, Людмила Павловна

Разработка технологии формирования волокнистых фильтров для улавливания и обезвреживания различных загрязнителей воздуха

Properties of metall-TiO2-Si structures on an alternating signal

Электрические и газочувствительные характеристики сенсоров NO2 на основе тонких пленок WO3, легированных примесью золота
по: Рудов, Федор Валентинович

Структура и свойства пленок из высокоэнтропийного материала с термоупругими фазовыми превращениями FeNiCoAlW, полученных магнетронным распылением

Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур: учебное пособие/
по: Битнер, Л. Р.
Публикация: (2010)

Влияние термического отжига и воздействия кислородной плазмы на свойства структур TiO2-Si

Влияние добавок Pt, Pd, Au на поверхности и в объеме тонких пленок диоксида олова на электрические и газочувствительные свойства