|
|
|
|
| LEADER |
02796nlm a2200529 4500 |
| 001 |
libtpu00345238 |
| 008 |
201015s2020 ru a 0000 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook377075
|
| 035 |
0 |
0 |
|a RUTPUbook377074
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 539.216.2(04)
|
| 080 |
|
|
|a 539.23(04)
|
| 084 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 100 |
1 |
|
|a Сунь Чжилэй,
|c физик
|c инженер-исследователь Томского политехнического университета
|d 1992-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства
|h Электронный ресурс
|b диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук
|b спец. 01.04.07
|c Сунь Чжилэй
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|c 2020
|
| 300 |
|
|
|a 1 файл (7 816 КБ)
|
| 500 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 500 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 500 |
|
|
|a Защита сост. 16.12.2020 г.
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Пленки тонкие
|x Получение
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Пленки тонкие
|x Структура
|
| 653 |
|
|
|a электронный ресурс
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 653 |
|
|
|a диссертации
|
| 653 |
|
|
|a закономерности
|
| 653 |
|
|
|a формирование
|
| 653 |
|
|
|a оксинитриды титана
|
| 653 |
|
|
|a магнетронное распыление
|
| 653 |
|
|
|a структурные особенности
|
| 653 |
|
|
|a тонкие пленки
|
| 653 |
|
|
|a оксиды титана
|
| 653 |
|
|
|a биомедицинское применение
|
| 653 |
|
|
|a осаждение
|
| 653 |
|
|
|a плазма
|
| 653 |
|
|
|a кристаллические структуры
|
| 653 |
|
|
|a преломление
|
| 653 |
|
|
|a фазовый состав
|
| 653 |
|
|
|a шероховатости
|
| 653 |
|
|
|a отжиг
|
| 653 |
|
|
|a молекулярный состав
|
| 653 |
|
|
|a смачивание
|
| 653 |
|
|
|a спектроскопия
|
| 653 |
|
|
|a термическая обработка
|
| 653 |
|
|
|a фотокаталитическая активность
|
| 700 |
1 |
|
|a Пичугин
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Владимир Федорович
|4 727
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
|
