Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author: Сунь Чжилэй, физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1992-
Other Authors: Пичугин российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2020
Subjects:
Пленки тонкие > Получение
Пленки тонкие > Структура
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
диссертации
закономерности
формирование
оксинитриды титана
магнетронное распыление
структурные особенности
тонкие пленки
оксиды титана
биомедицинское применение
осаждение
плазма
кристаллические структуры
преломление
фазовый состав
шероховатости
отжиг
молекулярный состав
смачивание
спектроскопия
термическая обработка
фотокаталитическая активность
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284

Similar Items

Similar Items