Синтез и свойства покрытий на основе титана, осажденных в плазме магнетронного разряда автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.02 - Бойцова, Е. Л. физик доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук 1975- ([Б. и.], 2020)