Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8 - Федоткин, А. Ю. физик инженер Томского политехнического университета 1994- ([Б. и.], 2022)