|
|
|
|
| LEADER |
02206nam a2200385 4500 |
| 001 |
libtpu00348250 |
| 008 |
221123s2022 ru a d 0001 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook380213
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 040 |
|
|
|a RU
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 539.2:539.1(04)
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.74(04)
|
| 084 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 100 |
1 |
|
|a Грудинин, В. А.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|d 1995-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем
|b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|b спец. 1.3.8
|c В. А. Грудинин
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|b [Б. и.]
|c 2022
|
| 300 |
|
|
|a 22 с.
|b ил.
|
| 500 |
|
|
|a Защита сост. 27.12.2022 г.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 21-22 (16 назв.)
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Твердые тела
|x Распыление
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Плазменная металлизация
|
| 653 |
|
|
|a плазменное оборудование
|
| 653 |
|
|
|a хромнатриевые покрытия
|
| 653 |
|
|
|a осаждение
|
| 653 |
|
|
|a скорость
|
| 653 |
|
|
|a разряд
|
| 653 |
|
|
|a функционирование
|
| 653 |
|
|
|a горячая мишень
|
| 653 |
|
|
|a магнетронное распыление
|
| 653 |
|
|
|a элементный состав
|
| 653 |
|
|
|a кристаллическая структура
|
| 653 |
|
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
1 |
|
|a Блейхер
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Галина Алексеевна
|4 727
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НТБ ТПУ
|u https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=348250
|
