Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8 - Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995- ([Б. и.], 2022)