Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Other Authors:	Блейхер физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск 2022
Subjects:	Твердые тела > Распыление Плазменная металлизация электронный ресурс авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ высокоскоростное осаждение твердые покрытия соединения хром азот плазма магнетронные распылительные системы нитриды металлов оксиды металлов мишени математические модели магнетроны элементный состав кристаллические структуры функциональные свойства микротвердость упругость коррозионная стойкость
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/73690

Similar Items