Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Библиографическая информация
Главный автор: Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Другие авторы: Блейхер физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск 2022
Предметы:
Online-ссылка:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/73690