Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Библиографическая информация
Главный автор: Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Другие авторы: Блейхер физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск 2022
Предметы:
Online-ссылка:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/73700
Описание
Примечание:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Защита сост. 27.12.2022
Объем:1 файл (11 048 КБ)