Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
2022
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/73700 |
| Примечание: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 27.12.2022 |
|---|---|
| Объем: | 1 файл (11 048 КБ) |
