|
|
|
|
| LEADER |
02592nlm a2200505 4500 |
| 001 |
libtpu00371578 |
| 008 |
221027s2022 ru a 0000 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUretro28988
|
| 035 |
0 |
0 |
|a RUTPUretro28987
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 539.2:539.1(04)
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.74(04)
|
| 084 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 100 |
1 |
|
|a Грудинин, В. А.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|d 1995-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем
|b диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|b спец. 1.3.8
|c В. А. Грудинин
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|c 2022
|
| 300 |
|
|
|a 1 файл (11 048 КБ)
|
| 500 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 500 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 500 |
|
|
|a Защита сост. 27.12.2022
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Твердые тела
|x Распыление
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Плазменная металлизация
|
| 653 |
|
|
|a электронный ресурс
|
| 653 |
|
|
|a диссертации
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 653 |
|
|
|a высокоскоростное осаждение
|
| 653 |
|
|
|a твердые покрытия
|
| 653 |
|
|
|a соединения
|
| 653 |
|
|
|a хром
|
| 653 |
|
|
|a азот
|
| 653 |
|
|
|a плазма
|
| 653 |
|
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 653 |
|
|
|a нитриды металлов
|
| 653 |
|
|
|a оксиды металлов
|
| 653 |
|
|
|a мишени
|
| 653 |
|
|
|a математические модели
|
| 653 |
|
|
|a магнетроны
|
| 653 |
|
|
|a элементный состав
|
| 653 |
|
|
|a кристаллические структуры
|
| 653 |
|
|
|a функциональные свойства
|
| 653 |
|
|
|a микротвердость
|
| 653 |
|
|
|a упругость
|
| 653 |
|
|
|a коррозионная стойкость
|
| 700 |
1 |
|
|a Блейхер
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Галина Алексеевна
|4 727
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/73700
|
