|
|
|
|
| LEADER |
01891nlm a2200313 4500 |
| 001 |
libtpu00651662 |
| 008 |
161118s2014 ru a k 0000 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUnetwork16911
|
| 035 |
0 |
0 |
|a RUTPUnetwork16910
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77(075.8)
|
| 100 |
1 |
|
|a Юрьева, А. В.
|c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий
|c ассистент Томского политехнического университета
|d 1983-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Современные технологии в микроэлектронике
|b электронный курс
|c А. В. Юрьева
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|b TPU Moodle
|c 2014
|
| 500 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 520 |
|
|
|a Целью курса является знакомство студентов с физическими основами микроэлектроники. Формирование базовых знаний и комплекса умений, необходимых для решения задач в области проектирования и изготовления интегральных микросхем.
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Микроэлектроника
|
| 653 |
|
|
|a электронный ресурс
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 653 |
|
|
|a электронное обучение
|
| 653 |
|
|
|a электронные курсы ТПУ
|
| 653 |
|
|
|a полупроводниковые микросхемы
|
| 653 |
|
|
|a литография
|
| 653 |
|
|
|a травление
|
| 653 |
|
|
|a тонкопленочные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a имплантация
|
| 653 |
|
|
|a учебные пособия
|
| 653 |
|
|
|a электронные учебные пособия
|
| 856 |
4 |
|
|u http://design.lms.tpu.ru/course/view.php?id=338
|
