Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Библиографическая информация
Главный автор:	Конищев, М. Е. физик старший преподаватель Томского политехнического университета 1987-
Другие авторы:	Евдокимов физик доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук (727)
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск 2025
Предметы:	Тонкопленочные покрытия поверхности покрытия пленки азотсодержащие покрытия биосовместимые покрытия оксид титана оксинитриды реактивное магнетронное напыление стабильный состав качество покрытия осаждение гистерезис электронный ресурс авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Online-ссылка:	https://earchive.tpu.ru/handle/11683/85151

Описание
Примечание:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 04.06.2025
Объем:	1 файл (1,77 МБ, 23 с.) pdf
Библиография:	Список основных публикаций по теме диссертации: с. 22-23 (12 назв.)

Похожие документы