Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8 - Конищев, М. Е. физик старший преподаватель Томского политехнического университета 1987- (2025)