Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Конищев, М. Е. физик старший преподаватель Томского политехнического университета 1987-
Other Authors:	Евдокимов физик доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук (727), Пичугин российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (695)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск 2025
Subjects:	Тонкопленочные покрытия поверхности покрытия пленки азотсодержащие покрытия биосовместимые покрытия оксид титана оксинитриды реактивное магнетронное напыление стабильный состав качество покрытия осаждение гистерезис электронный ресурс диссертации труды учёных ТПУ
Online Access:	https://earchive.tpu.ru/handle/11683/85152

Similar Items