Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность - Вахрушев, Димитрий Олегович; Гурулев, Александр Валерьевич; Ефимов, Дмитрий Давидович; Иванова, Анна Ивановна; Корнева, Ольга Сергеевна (Известия высших учебных заведений. Физика)
Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной от менее 0.1 мкм до более чем 1 мкм в зависимости от флюенса облучения.