LEADER 01373naa a2200277 c 4500
001 koha001004054
005 20230809140258.0
007 cr |
008 230627s2022 ru fs 100 0 rus d
035 |a koha001004054 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
100 1 |a Ишков, Арман Дмитриевич 
245 1 0 |a Модель поверхностной сегрегации примеси при легировании в системах молекулярно-лучевой эпитаксии  |c А. Д. Ишков 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 3 назв. 
653 |a молекулярно-лучевая эпитаксия 
653 |a поверхностная сегрегация примеси 
653 |a легирование 
653 |a дельта-легированные слои 
655 4 |a статьи в сборниках 
773 0 |t Сборник материалов XVIII Российской научной студенческой конференции "Физика твердого тела" (ФТТ-2022), 28-31 марта 2022 года, Томск, Россия  |d Томск, 2022  |g С. 35-37 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001004054 
908 |a статья 
999 |c 1004054  |d 1004054