Особенности осцилляций интенсивности дифракционных картин при эпитаксии Si/Si(100) и Ge/Si(100)
В ходе исследования роста эпитаксиальных пленок кремния методом дифракции быстрых электронов, определён принципиально разный характер колебаний интенсивности дифракции при различных направлениях....
| Published in: | Сборник материалов XVIII Российской научной студенческой конференции "Физика твердого тела" (ФТТ-2022), 28-31 марта 2022 года, Томск, Россия С. 42-44 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001004056 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02069naa a2200325 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001004056 | ||
| 005 | 20241212180512.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 230627s2022 ru fs 100 0 rus d | ||
| 035 | |a koha001004056 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Кукенов, Олжас Игоревич |9 564215 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Особенности осцилляций интенсивности дифракционных картин при эпитаксии Si/Si(100) и Ge/Si(100) |c О. И. Кукенов, В. В. Дирко |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 3 назв. | ||
| 520 | 3 | |a В ходе исследования роста эпитаксиальных пленок кремния методом дифракции быстрых электронов, определён принципиально разный характер колебаний интенсивности дифракции при различных направлениях. | |
| 653 | |a дифракция быстрых электронов | ||
| 653 | |a эпитаксиальные слои кремния | ||
| 653 | |a молекулярно-лучевая эпитаксия | ||
| 653 | |a полупроводниковые наноструктуры | ||
| 655 | 4 | |a статьи в сборниках |9 889941 | |
| 700 | 1 | |a Дирко, Владимир Владиславович |9 473120 | |
| 773 | 0 | |t Сборник материалов XVIII Российской научной студенческой конференции "Физика твердого тела" (ФТТ-2022), 28-31 марта 2022 года, Томск, Россия |d Томск, 2022 |g С. 42-44 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001004056 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1004056 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 039 | |b 100 | ||
| 999 | |c 1004056 |d 1004056 | ||