Горшков, Д. В., Закиров, Е. Р., Сидоров, Г. Ю., Сабинина, И. В., Гутаковский, А. К., & Вдовин, В. И. Исследование свойств пленок HfO2, выращенных методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения при разных температурах роста. Известия высших учебных заведений. Физика, 0026-80960(2023), .
Chicago Style (17th ed.) CitationГоршков, Дмитрий Витальевич, Евгений Рашитович Закиров, Георгий Юрьевич Сидоров, Ирина Викторовна Сабинина, Антон Константинович Гутаковский, and Владимир Ильич Вдовин. "Исследование свойств пленок HfO2, выращенных методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения при разных температурах роста." Известия высших учебных заведений. Физика 0026-80960, no. 2023 ().
MLA (8th ed.) CitationГоршков, Дмитрий Витальевич, et al. "Исследование свойств пленок HfO2, выращенных методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения при разных температурах роста." Известия высших учебных заведений. Физика, vol. 0026-80960, no. 2023, .