|
|
|
|
| LEADER |
03362nab a2200445 c 4500 |
| 001 |
koha001005307 |
| 005 |
20240723113537.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
230905|2023 ru s c rus d |
| 024 |
7 |
|
|a 10.17223/00213411/66/7/8
|2 doi
|
| 035 |
|
|
|a koha001005307
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD
|c Л. А. Мочалов, М. А. Кудряшов, А. Я. Поляков [и др.]
|
| 246 |
1 |
1 |
|a Physico-chemical and electrophysical properties of thin β-GA2O3:Zn films produced by the PECVD method
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 20 назв.
|
| 506 |
|
|
|a Ограниченный доступ
|
| 520 |
3 |
|
|a Впервые тонкие пленки системы β-Ga2O3:Zn (содержание Zn от 0 до 10 ат.%) были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы индуктивносвязанного высокочастотного (40.68 МГц) разряда при пониженном давлении (0.01 Торр). При этом непосредственно высокочистые элементы – металлические высокочистые галлий и цинк, а также высокочистый кислород использовали в качестве источников макрокомпонентов. Были изучены химический состав, морфология поверхности, спектры комбинационного рассеяния полученных тонких пленок β-Ga2O3:Zn, а также спектры катодной люминесценции и электрофизические свойства.
|
| 653 |
|
|
|a тонкие пленки
|
| 653 |
|
|
|a оксид галлия
|
| 653 |
|
|
|a катодная люминесценция
|
| 653 |
|
|
|a электрические свойства
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Мочалов, Леонид Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Кудряшов, Михаил Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Поляков, Александр Яковлевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Прохоров, Игорь Олегович
|
| 700 |
1 |
|
|a Вшивцев, Максим Анатольевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Кудряшова, Юлия Павловна
|
| 700 |
1 |
|
|a Князев, Александр Владимирович
|
| 700 |
1 |
|
|a Алмаев, Алексей Викторович
|
| 700 |
1 |
|
|a Яковлев, Никита Николаевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Черников, Евгений Викторович
|
| 700 |
1 |
|
|a Ерзакова, Надежда Николаевна
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2023
|g Т. 66, № 7. С. 66-73
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001005307
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1005307
|d 1005307
|
