Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD
Впервые тонкие пленки системы β-Ga2O3:Zn (содержание Zn от 0 до 10 ат.%) были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы индуктивносвязанного высокочастотного (40.68 МГц) разряда при пониженном давлении (0.01 Торр). При...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 66, № 7. С. 66-73 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001005307 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03640nab a2200469 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001005307 | ||
| 005 | 20240723113537.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 230905|2023 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.17223/00213411/66/7/8 |2 doi | |
| 035 | |a koha001005307 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD |c Л. А. Мочалов, М. А. Кудряшов, А. Я. Поляков [и др.] |
| 246 | 1 | 1 | |a Physico-chemical and electrophysical properties of thin β-GA2O3:Zn films produced by the PECVD method |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 20 назв. | ||
| 506 | |a Ограниченный доступ | ||
| 520 | 3 | |a Впервые тонкие пленки системы β-Ga2O3:Zn (содержание Zn от 0 до 10 ат.%) были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы индуктивносвязанного высокочастотного (40.68 МГц) разряда при пониженном давлении (0.01 Торр). При этом непосредственно высокочистые элементы - металлические высокочистые галлий и цинк, а также высокочистый кислород использовали в качестве источников макрокомпонентов. Были изучены химический состав, морфология поверхности, спектры комбинационного рассеяния полученных тонких пленок β-Ga2O3:Zn, а также спектры катодной люминесценции и электрофизические свойства. | |
| 653 | |a тонкие пленки | ||
| 653 | |a оксид галлия | ||
| 653 | |a катодная люминесценция | ||
| 653 | |a электрические свойства | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 892045 | |
| 700 | 1 | |a Мочалов, Леонид Александрович |9 892044 | |
| 700 | 1 | |a Кудряшов, Михаил Александрович |9 366930 | |
| 700 | 1 | |a Поляков, Александр Яковлевич |9 680126 | |
| 700 | 1 | |a Прохоров, Игорь Олегович |9 892049 | |
| 700 | 1 | |a Вшивцев, Максим Анатольевич |9 892050 | |
| 700 | 1 | |a Кудряшова, Юлия Павловна |9 892051 | |
| 700 | 1 | |a Князев, Александр Владимирович |9 892052 | |
| 700 | 1 | |a Алмаев, Алексей Викторович |9 94842 | |
| 700 | 1 | |a Яковлев, Никита Николаевич |9 502213 | |
| 700 | 1 | |a Черников, Евгений Викторович |9 86739 | |
| 700 | 1 | |a Ерзакова, Надежда Николаевна |9 94514 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2023 |g Т. 66, № 7. С. 66-73 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001005307 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1005307 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1005307 |d 1005307 | ||
| 039 | |b 100 | ||