Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD
Впервые тонкие пленки системы β-Ga2O3:Zn (содержание Zn от 0 до 10 ат.%) были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы индуктивносвязанного высокочастотного (40.68 МГц) разряда при пониженном давлении (0.01 Торр). При это...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 66, № 7. С. 66-73 |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , , , , , , , , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001005307 |