Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD

Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD

Впервые тонкие пленки системы β-Ga2O3:Zn (содержание Zn от 0 до 10 ат.%) были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы индуктивносвязанного высокочастотного (40.68 МГц) разряда при пониженном давлении (0.01 Торр). При это...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 66, № 7. С. 66-73
Other Authors: Мочалов, Леонид Александрович, Кудряшов, Михаил Александрович, Поляков, Александр Яковлевич, Прохоров, Игорь Олегович, Вшивцев, Максим Анатольевич, Кудряшова, Юлия Павловна, Князев, Александр Владимирович, Алмаев, Алексей Викторович, Яковлев, Никита Николаевич, Черников, Евгений Викторович, Ерзакова, Надежда Николаевна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
тонкие пленки
оксид галлия
катодная люминесценция
электрические свойства
статьи в журналах
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001005307

Similar Items

Similar Items