Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD

Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD

Впервые тонкие пленки системы β-Ga2O3:Zn (содержание Zn от 0 до 10 ат.%) были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы индуктивносвязанного высокочастотного (40.68 МГц) разряда при пониженном давлении (0.01 Торр). При это...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Известия высших учебных заведений. Физика Т. 66, № 7. С. 66-73
Другие авторы: Мочалов, Леонид Александрович, Кудряшов, Михаил Александрович, Поляков, Александр Яковлевич, Прохоров, Игорь Олегович, Вшивцев, Максим Анатольевич, Кудряшова, Юлия Павловна, Князев, Александр Владимирович, Алмаев, Алексей Викторович, Яковлев, Никита Николаевич, Черников, Евгений Викторович, Ерзакова, Надежда Николаевна
Формат: Статья в журнале
Язык:Russian
Предметы:
тонкие пленки
оксид галлия
катодная люминесценция
электрические свойства
статьи в журналах
Online-ссылка:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001005307

Похожие документы

Похожие документы