Микро- и нанотехнологии: материаловедение в электронном приборостроении [учебник для студентов бакалавриата и магистратуры, обучающихся по направлениям 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", 12.03.01 "Приборостроение", 22.00.00 "Технология материалов"] - Медведев, Аркадий Максимович (Бакалавриат и магистратура, 2023)