Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника",11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнических профилей] - Величко, Александр Андреевич; Игнатов, Александр Николаевич; Гришина, Ирина Владимировна (Инфра-Инженерия, 2023)