Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 1.3.8
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Новосибирск
[б. и.]
2023
|
| Subjects: |