Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления - Князева, Анна Георгиевна (Известия высших учебных заведений. Физика)
Cформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия.