Расчет химического состава гелий-силановой плазмы
Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов....
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 1. С. 90-96 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130401 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Итог: | Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: 15 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |