Расчет химического состава гелий-силановой плазмы
Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов....
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 1. С. 90-96 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130401 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02137nab a2200349 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001130401 | ||
| 005 | 20240604160339.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240220|2010 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001130401 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Струнин, Владимир Иванович |9 382261 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Расчет химического состава гелий-силановой плазмы |c В. И. Струнин, Е. А. Китаева, Г. Ж. Худайбергенов |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 15 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов. | |
| 653 | |a гелий-силановая плазма | ||
| 653 | |a химический состав | ||
| 653 | |a высокоэнергетичные электроны | ||
| 653 | |a пылевые частицы | ||
| 653 | |a метастабильные атомы | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 952608 | |
| 700 | 1 | |a Китаева, Елена Александровна |9 952609 | |
| 700 | 1 | |a Худайбергенов, Гамзат Жапарович |9 952610 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2010 |g Т. 53, № 1. С. 90-96 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130401 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1130401 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1130401 |d 1130401 | ||
| 039 | |b 100 | ||