Расчет химического состава гелий-силановой плазмы

Расчет химического состава гелий-силановой плазмы

Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов....

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 1. С. 90-96
Главный автор:	Струнин, Владимир Иванович
Другие авторы:	Китаева, Елена Александровна, Худайбергенов, Гамзат Жапарович
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	гелий-силановая плазма химический состав высокоэнергетичные электроны пылевые частицы метастабильные атомы статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130401 Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы

Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы
по: Струнин, Владимир Иванович

Численный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда
по: Ляхов, Анатолий Александрович

Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда

Моделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.02.05
по: Ляхов, Анатолий Александрович
Публикация: (2018)

Генерация электронного пучка в азоте и гелии при низком напряжении на газовом диоде

Структура разряда в скрещенных полях в гелии
по: Платонов, Алексей Александрович

Характеристики плазмы, генерируемой первичными электронами, при пониженных давлениях
по: Никулин, Сергей Павлович

Структурные изменения плазменно-пылевых кристаллов в полях различной конфигурации диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07, 01.04. 02
по: Абдрашитов, Андрей Владимирович
Публикация: (2011)

Возбужденные атомы
по: Смирнов, Борис Михайлович 1938-
Публикация: (1982)

Введение в физику пылевой и комплексной плазмы [учебное пособие]
Публикация: (2017)

Optimization of the characteristics of high-energy materials
по: Kuznetsova, Viktoriya

Физика электронных и атомных столкновений Библиографический указатель 1967-1973
Публикация: (1978)

Плазменный кристалл космические эксперименты
Публикация: (2015)

Комплексная и пылевая плазма из лаборатории в космос
Публикация: (2012)

Комплексная и пылевая плазма из лаборатории в космос
Публикация: (2013)

Исследование горения смесевых композиций, содержащих смешанное металлическое горючее
по: Золотарев, Николай Николаевич

Новые идеи в химии непериодическое издание, выходящее под ред. проф. Л. А. Чугаева
Публикация: (1914)

Механизмы рарушения угля и образование пылевых частиц

Экспериментальное исследование сверхупругого рассеяния медленных электронов на метастабильных состояниях атомов ксенона и молекул азота диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.05
по: Сорокин, Геннадий Михайлович
Публикация: (1990)

Разряд в смесях инертных газов
по: Шибкова, Лидия Владимировна
Публикация: (2005)

Вопросы теории плазмы: Сборник научных статей.
по: Брейзман, Б. Н., et al.
Публикация: (1990)

Спектроскопия газоразрядной плазмы: научное издание/
Публикация: (1970)

Генерация убегающих электронов в неоднородном электрическом поле при наносекундных импульсах напряжения и частотах 100-1000 Hz

Влияние химического состава дисперсных частиц γ'-фазы на величину деформации превращения при термоупругом γ-α'-мартенситном превращении в монокристаллах сплава FeNiCoAlx (x=Ti, TiNb)

Гелий-неоновый лазер в биологии и медицине Указатель зарубежной литературы, 1965-1986 гг.
Публикация: (1987)

Гелий на Земле и во Вселенной
по: Ассовская, Аэлита Сергеевна
Публикация: (1984)

Основы физики плазмы
по: Голант, Виктор Евгеньевич
Публикация: (1977)

Аэромеханика и газовая динимика [сборник]
Публикация: (1976)

Импеданс-спектроскопия неоднородной неоновой плазмы
по: Гусейнов, Тарлан Ханбаба оглы

Лечение вазомоторного ринита гелий неоновым и углекислым лазером: методические рекомендации
Публикация: (1985)

Эмиссионные свойства апокампа атмосферного давления в воздухе, аргоне и гелии

Расчет спектральных характеристик атома гелия, возбуждаемого электрическим полем в токовых слоях плазмы
по: Корюкина, Елена Владимировна

Влияние первичных электронов на механизм генерации плазмы
по: Никулин, Сергей Павлович

Исследование характеристик излучения гелий-неонового лазера: Руководство к лабораторной работе по курсу "Квантовые и оптоэлектронные приборы" для студентов специальности 200300 "Электронные приборы и устройства"/
по: Шандаров Станислав Михайлович
Публикация: (2002)

Использование гелий-неонового лазера для профилактики и лечения послеоперационного панкреатита: Автореферат диссертации ... кандидата медицинских наук: 14.00.27/
по: Мухин, С. П.
Публикация: (1994)

Влияние гелий-неонового лазерного излучения на деятельность сердца: Автореферат диссертации ... кандидата медицинских наук: 14.00.17/
по: Порозов, Ю. Б.
Публикация: (1997)

Погрешности измерения пылевых выбросов в атмосферу
по: Зыков, Евгений Геннадьевич

Процессы переноса в пристеночных слоях плазмы
по: Котельников, Вадим Алексеевич
Публикация: (2004)

Материалы к обоснованию гелий-неоновой лазеротерапии вазомоторного ринита: автореферат диссертации ... кандидата медицинских наук : 14.00.04/
по: Воркушин, А. И.
Публикация: (1994)

Гелий-неоновый лазер при хирургическом лечении рака желудка: Автореферат диссертации ... кандидата медицинских наук: 14.00.27/
по: Плохов, В. Н.
Публикация: (1996)