|
|
|
|
| LEADER |
02154nab a2200313 c 4500 |
| 001 |
koha001130679 |
| 005 |
20240227171941.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240226|2010 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001130679
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 100 |
1 |
|
|a Данилина, Тамара Ивановна
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Электрофизические свойства диэлектрических пленок в МДМ-структурах
|c Т. И. Данилина, П. Е. Троян
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 5 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a Методами реактивного катодного распыления в устройстве на основе низковольтного пеннинговского разряда получены диэлектрические пленки окиси и нитрида кремния, нитрида алюминия и другие. Изучены параметры пленок в МДМ-структурах, оптические свойства, пористость в зависимости от скорости осаждения, температуры подложки и давления реактивного газа. Наибольшую электрическую прочность имели пленки нитрида кремния, а наименьшие потери – пленки двуокиси кремния.
|
| 653 |
|
|
|a диэлектрические пленки
|
| 653 |
|
|
|a скорость травления
|
| 653 |
|
|
|a скорость осаждения
|
| 653 |
|
|
|a электрические параметры
|
| 653 |
|
|
|a МДМ-структуры
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Троян, Павел Ефимович
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2010
|g Т. 53, № 4. С. 8-11
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130679
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1130679
|d 1130679
|
