Электрофизические свойства диэлектрических пленок в МДМ-структурах - Данилина, Тамара Ивановна (Известия высших учебных заведений. Физика)
Методами реактивного катодного распыления в устройстве на основе низковольтного пеннинговского разряда получены диэлектрические пленки окиси и нитрида кремния, нитрида алюминия и другие. Изучены параметры пленок в МДМ-структурах, оптические свойства, пористость в зависимости от скорости осаждения, температуры подложки и давления реактивного газа. Наибольшую электрическую прочность имели пленки нитрида кремния, а наименьшие потери – пленки двуокиси кремния.