Электрофизические свойства диэлектрических пленок в МДМ-структурах
Методами реактивного катодного распыления в устройстве на основе низковольтного пеннинговского разряда получены диэлектрические пленки окиси и нитрида кремния, нитрида алюминия и другие. Изучены параметры пленок в МДМ-структурах, оптические свойства, пористость в зависимости от скорости осаждения, т...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 4. С. 8-11 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130679 |