Электрофизические свойства диэлектрических пленок в МДМ-структурах

Электрофизические свойства диэлектрических пленок в МДМ-структурах

Методами реактивного катодного распыления в устройстве на основе низковольтного пеннинговского разряда получены диэлектрические пленки окиси и нитрида кремния, нитрида алюминия и другие. Изучены параметры пленок в МДМ-структурах, оптические свойства, пористость в зависимости от скорости осаждения, т...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 4. С. 8-11
Главный автор:	Данилина, Тамара Ивановна
Другие авторы:	Троян, Павел Ефимович
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	диэлектрические пленки скорость травления скорость осаждения электрические параметры МДМ-структуры статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130679

Похожие документы

Влияние примеси углерода на формовку и электрофизические параметры МДМ-структур: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Сахаров, Ю. В. Юрий Владимирович
Публикация: (2006)

Влияние примеси углерода на формовку и электрофизические параметры МДМ-структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Сахаров, Ю. В. Юрий Владимирович
Публикация: (2006)

Исследование многократного пробоя тонких диэлектрических пленок в МДМ-системе: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
по: Иванова, Е. В. Елена Васильевна
Публикация: (1976)

Электролюминесценция в формированных МДМ-структурах
по: Калистратов, С. В.

Исследование закономерностей роста и электрофизических свойств пленок нитрида алюминия и МДМ структур на их основе: диссертация на соиск. ученой степ. канд. физ.-мат. наук/
по: Славников , В. С.
Публикация: (1971)

Электропроводность и деградационные процессы в формованной тонкопленочной структуре металл-диэлектрик-металл на основе оксинитрида кремния диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10
по: Лубсанов, Ринчин Балданович
Публикация: (1986)

Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл: монография/
по: Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович, et al.
Публикация: (2007)

Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук/
по: Шандра, З. А.
Публикация: (1972)

Эмиссионные свойства структур металл-диэлектрик-металл на основе пленок оксинитрида кремния. Спец.01.04.04-Физич. электроника, в т. ч. квантовая: диссертация на соиск. уч. ст. канд. физ. -мат. наук. На правах рукописи/
по: Галанский Владимир Лазаревич
Публикация: (1979)

Зарядоперенос в структурах с диэлектрическими слоями: /
по: Гуртов, В. А. Валерий Алексеевич, et al.
Публикация: (2010)

Пробой тонких диэлектрических пленок: научное издание/
по: Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович, et al.
Публикация: (1977)

Электропроводность тонких диэлектрических пленок: Учебное пособие/
по: Кунин, В. Я. Вадим Яковлевич, et al.
Публикация: (1981)

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций - фосфатных покрытий: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 1.3.8/
по: Федоткин, А. Ю. Александр Юрьевич
Публикация: (2022)

An experimental study of the hydrodynamic drag coefficient of a cooled hard sphere at small Reynolds numbers

Газочуствительные свойства диэлектрических слоев на GaAs полученных термическим окислением в присутствии соединений - активаторов
по: Миттова, Ирина Яковлевна

Электрические явления в тонких пленках (Избранные главы из книги Thin film phenomena): Монография : Пер. с англ./
по: Чопра, К. Л.
Публикация: (1972)

Influence of nonisothermality on the dynamics of gravitational settling of a single solid sphere at low reynolds numbers

Исследование физико-химических свойств пленок боросиликатного стекла и процессов, происходящих при электрическом пробое в системе W-БСС-Si: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11/
по: Щерб, С. Ш.
Публикация: (1973)

Пробой тонких диэлектрических пленок
по: Воробьев, Григорий Абрамович 1925–2009
Публикация: (1977)

Электронно-микроскопическое исследование медных пленок, нанесенных на кремниевые подложки методом низкотемпературного химического осаждения из паровой фазы
по: Шейн, Д. Я.

Исследование влияния ямок травления на параметры фотопреобразователей
по: Левинзон, Д. И.

Влияние пассивности GaAs на морфологию поверхности диэлектрических слоев
по: Панин, Алексей Викторович

Исследование процессов получения защитных диэлектрических покрытий методом анодного оксидирования: руководство к лабораторной работе/
по: Чикин, Е. В. Евгений Владимирович
Публикация: (2006)

Физика композитов: термодинамические и диссипативные свойства
по: Гладков, Сергей Октябринович
Публикация: (1999)

Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие/
по: Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович, et al.
Публикация: (1991)

Методы контроля макродефектов диэлектрических покрытий (По данным отечественной и зарубежной печати за 1970-1982 гг. )
Публикация: (1983)

Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD

A mathematical model for evaporation of explosive thin film

Метод определения скорости горения ВЭМ с использованием бомбы Вьеля
по: Коноваленко, Алексей Иванович

Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук./
по: Смирнова, К. И.
Публикация: (1971)

Электрическая формовка тонкопленочных структур металл-диэлектрик-металл в сильных электрических полях: монография /
по: Троян, П. Е. Павел Ефимович
Публикация: (2003)

Переходные процессы в полупроводниковых и диэлектрических диодах диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
по: Гаман, Василий Иванович 1929-2021
Публикация: (1969)

Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
по: Мотошкин Виктор Владимирович
Публикация: (1979)

Получение и свойства пленок на основе оксидов редкоземельных элементов диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.01
по: Козик, Владимир Васильевич 1947-2021
Публикация: (1976)

Интерференционные явления в слоистых структурах и их применение в задачах приема сигналов и диагностики неоднородных сред диссертация в виде научного доклада на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. 01.04.03. , 01.04.05
по: Козарь, Анатолий Викторович
Публикация: (2004)

Исследования точности экспериментального определения диэлектрических параметров вещества методами статистического моделирования

Metal-insulator transition and size dependent electrical percolation in onion-like carbon/polydimethylsiloxane composites

Adaptive estimation of density function derivative
по: Politis, Dimitris N.

Электрофизические свойства тонких пленок полупроводников Учебное пособие
по: Овсюк, Виктор Николаевич
Публикация: (1980)

Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.27.01
по: Пашков, Владимир Юрьевич
Публикация: (1996)