Исследование влияния примесей на синтез нанокристаллических слоев нитрида титана из плазмы электродугового разряда
Приводятся данные экспериментальных исследований о структуре и свойствах нанокристаллических упрочняющих слоев нитрида титана с примесями атомов меди, кремния, алюминия, полученных вакуумным плазменно-ассистированным методом электродугового нанесения. Предложена модель наноструктурирования таких пок...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 3/2. С. 119-124 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001132004 |