Система контроля дефектности полупроводниковых пластин и структур - Винник, Александр Евгеньевич; Тяжев, Антон Владимирович; Толбанов, Олег Петрович; Шаймерденова, Лейла Калитаевна; Скакунов, Максим Сергеевич (Актуальные проблемы радиофизики АПР-2023 : 10-я Международная научно-практическая конференция, 26-29 сентября 2023 года, г. Томск : сборник трудов конференции)