Компьютерное моделирование процессов заряжения поверхности и приповерхностных слоев диоксида кремния при электронной бомбардировке

Описана физическая модель и программа расчета параметров заряжения диэлектриков при электронной бомбардировке. Методом компьютерного моделирования изучены основные процессы заряжения приповерхностных слоев диоксида кремния. Рассчитаны зависимости плотности тока, объемной плотности заряда и напряженн...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 3. С. 25-31
Main Author: Кортов, Всеволод Семенович
Other Authors: Звонарев, Сергей Владимирович, Спиридонова, Татьяна Владимировна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133479
LEADER 02361nab a2200301 c 4500
001 koha001133479
005 20240418223438.0
007 cr |
008 240416|2011 ru s c rus d
035 |a koha001133479 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
100 1 |a Кортов, Всеволод Семенович 
245 1 0 |a Компьютерное моделирование процессов заряжения поверхности и приповерхностных слоев диоксида кремния при электронной бомбардировке  |c В. С. Кортов, С. В. Звонарев, Т. В. Спиридонова 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 9 назв. 
520 3 |a Описана физическая модель и программа расчета параметров заряжения диэлектриков при электронной бомбардировке. Методом компьютерного моделирования изучены основные процессы заряжения приповерхностных слоев диоксида кремния. Рассчитаны зависимости плотности тока, объемной плотности заряда и напряженности электрического поля от глубины слоя материала при варьировании параметров электронного пучка, длительности облучения и потенциала на сетке вблизи поверхности образца. 
653 |a компьютерное моделирование 
653 |a заряжение поверхности 
653 |a электронная бомбардировка 
655 4 |a статьи в журналах 
700 1 |a Звонарев, Сергей Владимирович 
700 1 |a Спиридонова, Татьяна Владимировна 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2011  |g Т. 54, № 3. С. 25-31  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133479 
908 |a статья 
999 |c 1133479  |d 1133479