Компьютерное моделирование процессов заряжения поверхности и приповерхностных слоев диоксида кремния при электронной бомбардировке
Описана физическая модель и программа расчета параметров заряжения диэлектриков при электронной бомбардировке. Методом компьютерного моделирования изучены основные процессы заряжения приповерхностных слоев диоксида кремния. Рассчитаны зависимости плотности тока, объемной плотности заряда и напряже...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 3. С. 25-31 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133479 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02561nab a2200325 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001133479 | ||
| 005 | 20240418223438.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240416|2011 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001133479 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Кортов, Всеволод Семенович |9 72947 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Компьютерное моделирование процессов заряжения поверхности и приповерхностных слоев диоксида кремния при электронной бомбардировке |c В. С. Кортов, С. В. Звонарев, Т. В. Спиридонова |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 9 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Описана физическая модель и программа расчета параметров заряжения диэлектриков при электронной бомбардировке. Методом компьютерного моделирования изучены основные процессы заряжения приповерхностных слоев диоксида кремния. Рассчитаны зависимости плотности тока, объемной плотности заряда и напряженности электрического поля от глубины слоя материала при варьировании параметров электронного пучка, длительности облучения и потенциала на сетке вблизи поверхности образца. | |
| 653 | |a компьютерное моделирование | ||
| 653 | |a заряжение поверхности | ||
| 653 | |a электронная бомбардировка | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 957961 | |
| 700 | 1 | |a Звонарев, Сергей Владимирович |9 957962 | |
| 700 | 1 | |a Спиридонова, Татьяна Владимировна |9 858426 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2011 |g Т. 54, № 3. С. 25-31 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133479 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1133479 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1133479 |d 1133479 | ||
| 039 | |b 100 | ||