APA Цитирование

Демкин, В. П., Мельничук, С. В., & Семухин, Б. С. Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа. Известия высших учебных заведений. Физика, 0026-80960(2010), .

Chicago-стиль цитирования

Демкин, Владимир Петрович, Сергей Васильевич Мельничук, and Борис Семенович Семухин. "Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа." Известия высших учебных заведений. Физика 0026-80960, no. 2010 ().

MLA-цитирование

Демкин, Владимир Петрович, et al. "Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа." Известия высших учебных заведений. Физика, vol. 0026-80960, no. 2010, .