Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа
Приведены результаты исследований образования наноструктурных комплексов водород – кремний в приповерхностном слое монокристаллического кремния при его обработке в водородосодержащей плазме. С помощью ИК- и оже-спектроскопии показано, что только при малых временах обработки происходит образование на...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 11/2. С. 33-36 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133684 |
| Summary: | Приведены результаты исследований образования наноструктурных комплексов водород – кремний в приповерхностном слое монокристаллического кремния при его обработке в водородосодержащей плазме. С помощью ИК- и оже-спектроскопии показано, что только при малых временах обработки происходит образование нанослоев и, как следствие, экстремальное изменение удельного сопротивления приповерхностного слоя. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: 10 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |