Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа - Демкин, Владимир Петрович 1950- (Известия высших учебных заведений. Физика)
Приведены результаты исследований образования наноструктурных комплексов водород – кремний в приповерхностном слое монокристаллического кремния при его обработке в водородосодержащей плазме. С помощью ИК- и оже-спектроскопии показано, что только при малых временах обработки происходит образование нанослоев и, как следствие, экстремальное изменение удельного сопротивления приповерхностного слоя.