Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu-W
Исследован метод синтеза мишеней из порошковых смесей Cu-W, полученных методом электровзрыва. Рассмотрены оптимальные параметры процесса и структурно-фазовый состав полученных мишеней. Основными фазами являются Cu и W с рефлексами фазы Cu2WO4 в мишени с меньшим содержанием W. Показана эрозия миш...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 66, № 12. С. 79-85 |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , , , , , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133907 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03417nab a2200445 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001133907 | ||
| 005 | 20241127143706.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240422|2023 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.17223/00213411/66/12/10 |2 doi | |
| 035 | |a koha001133907 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu-W |c К. А. Просолов, В. В. Ластовка, А. И. Толмачев [и др.] |
| 246 | 1 | 1 | |a Structural features and regularities of the formation of a target for RF magnetron sputtering from W−Cu bimetallic particles |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 8 назв. | ||
| 506 | |a Ограниченный доступ | ||
| 520 | 3 | |a Исследован метод синтеза мишеней из порошковых смесей Cu-W, полученных методом электровзрыва. Рассмотрены оптимальные параметры процесса и структурно-фазовый состав полученных мишеней. Основными фазами являются Cu и W с рефлексами фазы Cu2WO4 в мишени с меньшим содержанием W. Показана эрозия мишеней при ВЧ-распылении и изменение формы кластеров в покрытии при увеличении мощности. Ранее исследования в этой области не уделяли должного внимания синтезу мишеней с высоким содержанием W и влиянию параметров процесса на качество получаемых покрытий. | |
| 653 | |a высокочастотное магнетронное распыление | ||
| 653 | |a несмешивающиеся металлы | ||
| 653 | |a функциональные покрытия | ||
| 653 | |a электровзрыв | ||
| 653 | |a нанопорошки | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 958899 | |
| 700 | 1 | |a Просолов, Константин Александрович |9 404254 | |
| 700 | 1 | |a Ластовка, Владимир Викторович |9 123526 | |
| 700 | 1 | |a Толмачев, Алексей Иванович |9 405678 | |
| 700 | 1 | |a Химич, Маргарита Андреевна |9 98189 | |
| 700 | 1 | |a Сулиз, Константин Владимирович |9 499476 | |
| 700 | 1 | |a Казанцев, Сергей Олегович |9 487669 | |
| 700 | 1 | |a Ложкомоев, Александр Сергеевич |9 138819 | |
| 700 | 1 | |a Шаркеев, Юрий Петрович |d 1950- |9 68911 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2023 |g Т. 66, № 12. С. 79-85 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133907 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1133907 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1133907 |d 1133907 | ||
| 039 | |b 100 | ||