|
|
|
|
| LEADER |
03166nab a2200421 c 4500 |
| 001 |
koha001133907 |
| 005 |
20241127143706.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240422|2023 ru s c rus d |
| 024 |
7 |
|
|a 10.17223/00213411/66/12/10
|2 doi
|
| 035 |
|
|
|a koha001133907
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu–W
|c К. А. Просолов, В. В. Ластовка, А. И. Толмачев [и др.]
|
| 246 |
1 |
1 |
|a Structural features and regularities of the formation of a target for RF magnetron sputtering from W−Cu bimetallic particles
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 8 назв.
|
| 506 |
|
|
|a Ограниченный доступ
|
| 520 |
3 |
|
|a Исследован метод синтеза мишеней из порошковых смесей Cu–W, полученных методом электровзрыва. Рассмотрены оптимальные параметры процесса и структурно-фазовый состав полученных мишеней. Основными фазами являются Cu и W с рефлексами фазы Cu2WO4 в мишени с меньшим содержанием W. Показана эрозия мишеней при ВЧ-распылении и изменение формы кластеров в покрытии при увеличении мощности. Ранее исследования в этой области не уделяли должного внимания синтезу мишеней с высоким содержанием W и влиянию параметров процесса на качество получаемых покрытий.
|
| 653 |
|
|
|a высокочастотное магнетронное распыление
|
| 653 |
|
|
|a несмешивающиеся металлы
|
| 653 |
|
|
|a функциональные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a электровзрыв
|
| 653 |
|
|
|a нанопорошки
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Просолов, Константин Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Ластовка, Владимир Викторович
|
| 700 |
1 |
|
|a Толмачев, Алексей Иванович
|
| 700 |
1 |
|
|a Химич, Маргарита Андреевна
|
| 700 |
1 |
|
|a Сулиз, Константин Владимирович
|
| 700 |
1 |
|
|a Казанцев, Сергей Олегович
|
| 700 |
1 |
|
|a Ложкомоев, Александр Сергеевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Шаркеев, Юрий Петрович
|d 1950-
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2023
|g Т. 66, № 12. С. 79-85
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133907
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1133907
|d 1133907
|
